我们作为拥有超过多年超高纯喷涂和内衬加工经验的服务商，拥有自己的超高纯喷涂千级厂房和万级内衬厂房，喷涂最高纯度总金属杂质可以控制在1PPb以内，内衬最高纯度总金属杂质可以控制在5PPt以内。

行业
  • 半导体
  • 制药
应用
  • 混合
  • 过滤
  • 干燥
  • 移动槽车
  • 储槽
  • 半导体转运清洗件
  • 塔器
  • 吸附树脂柱
超高纯喷涂
高纯度氟聚合物涂层
高纯度氟聚合物涂层

高纯喷涂分为液体和粉体喷涂两种，液体喷涂常用于一些粉体喷涂无法很好达到成膜效果的边角、沟槽类部件的涂层加工，因此不适用传统机械液体喷涂，其厚度控制难度及精度较高，所以常使用人工喷涂的方式；粉体喷涂常用于大面积设备的喷涂加工，相比于液体液体喷涂，可实现更高效率的生产加工，所以常用静电粉末的方式进行，但厚度误差相比于液体喷涂稍大

我们作为拥有超过多年超高纯喷涂加工经验的服务商，拥有自己的超高纯喷涂千级厂房，喷涂最高纯度总金属杂质可以控制住1PPb以内

成品性能参数表（金属杂质） 12日高纯喷涂涂层金杂成分检测表

单位ppb 1day 2day 3day 4day 5day 6day 7day 8day 9day 10day 11day 12day
Li 0 0 0.000 0.000 0.000 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001
Ha 0.0336 0.0181 0.037 0.070 0.102 0.122 0.142 0.106 0.176 0.190 0.106 0.176
Mg 0.0249 0.0281 0.002 0.005 0.002 0.004 0.005 0.001 0.001 0.002 0.001 0.001
Al 0.0304 0.0359 0.004 0.008 0.007 0.002 0.002 0.002 0.001 0.001 0.002 0.001
K 0.0071 0.0052 0.005 0.007 0.008 0.022 0.023 0.006 0.014 0.013 0.006 0.014
Ca 0.1123 0.0512 0.020 0.023 0.022 0.024 0.022 0.016 0.021 0.025 0.016 0.021
Ti 0.0019 0.0009 0.001 0.001 0.002 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001
Y 0.0006 0.0004 0.001 0.001 0.001 0.000 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001
Cr 0.0039 0.0032 0.049 0.037 0.109 0.062 0.013 0.000 0.011 0.037 0.000 0.011
Mn 0.0159 0.0104 0.003 0.003 0.007 0.003 0.002 0.001 0.001 0.003 0.001 0.001
Fe 0.0871 0.0567 0.090 0.169 0.087 0.065 0.120 0.045 0.058 0.104 0.045 0.058
Co 0.0012 0.0006 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001
Hi 0.0249 0.0171 0.212 0.096 0.214 0.045 0.033 0.037 0.009 0.073 0.037 0.009
Cu 0.0044 0.0026 0.021 0.025 0.030 0.020 0.018 0.055 0.055 0.037 0.055 0.055
Zn 0.1046 0.0813 0.014 0.030 0.037 0.048 0.055 0.087 0.087 0.075 0.087 0.087
AS 0.0006 0.0006 0.003 0.002 0.002 0.003 0.003 0.004 0.002 0.003 0.004 0.002
Zr 0.0004 0.0002 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
Mo 0.0021 0.0013 0.002 0.003 0.002 0.002 0.003 0.000 0.000 0.003 0.000 0.000
Ag 0.0001 0.0003 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.001
Cd 0 0 0.005 0.004 0.003 0.009 0.006 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
Sn 0.0051 0.0021 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.004 0.000 0.000 0.004 0.000
Ba 0.000 0.000 0.000 0.000 0.035 0.000 0.000 0.000 0.001 0.001 0.000 0.001
Ta 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
W 0.0028 0.0026 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.020 0.000 0.000 0.020 0.000
Pt 0.0003 0 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
A11 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000 0.000
Pb 0.0003 0.0004 0.001 0.001 0.000 0.001 0.001 0.001 0.000 0.003 0.001 0.000
Si 0.7387 0.6761 0.676 0.643 0.001 0.001 0.000 0.000 0.001 0.000 0.000 0.000
光刻胶反应釜

光刻胶反应釜

PI(即:半导体级聚酰亚胺)反应釜

PI(即:半导体级聚酰亚胺)反应釜

晶圆搬运机械手

晶圆搬运机械手

双面精密研磨抛机

双面精密研磨抛机

石英制升降机械手

石英制升降机械手

晶圆抛光设备

晶圆抛光设备

超高纯内衬
高纯度氟聚合物衬里
高纯度氟聚合物衬里

超高纯内衬主要分为钠化光板和背面玻璃纤维复合板，主要为PFA背面玻璃纤维复合板、改性PTFE背面玻璃纤维复合板、改性PTFE钠化光板、常规PTFE、常规PFTE背面玻璃纤维复合板、ECTFE背面玻璃纤维复合板，筒体直段主要是通过机械自动焊枪焊接完成，环焊缝和管口主要以手工焊为主

我们的内衬材料使用美国科慕（杜邦），美国苏威、日本大金等国际知名品牌，内衬万级厂房，内衬最高纯度总金杂5PPt以内。

高纯内衬涂层金杂成分检测表

分析项目 单位    
分析B槽 成品B槽  
      5月25日 6月8日 6月16日 5月25日 浸泡前
痕 量
阳 离 子max		 锂(Li) ≤ ppt 0.225 0.063 0.043 0.017 0.114
铍(Be) ≤ ppt 0.085 0.098 0.028 0.057 0.05
硼(B) ≤ ppt 0.899 0.773 0.018 0.616 0.155
钠(Na) ≤ ppt 0.788 0.507 0.559 0.197 0.191
镁(Mg) ≤ ppt 0.105 0.582 0.555 0.501 0.085
铝(Al) ≤ ppt 0.082 0.766 0.433 0.258 0.044
硅(Si) ≤ ppt 0.064 0.272 0.024 0.198 0.396
磷(P) ≤ ppt 0.025 0.292 0.987 0.284 0.036
钾(K) ≤ ppt 0.114 0.421 0.347 0.069 0.363
钙(Ca) ≤ ppt 0.57 0.171 0.781 0.522 0.128
钛(Ti) ≤ ppt 0.073 0.18 0.053 0.073 0.061
钒(V) ≤ ppt 0.086 0.075 0.048 0.043 0.025
铬(Cr) ≤ ppt 0.066 0.764 0.172 0.472 0.04
锰(Mn) ≤ ppt 0.504 0.104 0.199 0.11 0
铁(Fe) ≤ ppt 0.469 0.362 0.141 0.613 0.034
钴(Co) ≤ ppt 0.489 0.859 0.091 0.083 0
镍(Ni) ≤ ppt 0.248 0.109 0.126 0.65 0.024
铜(Cu) ≤ ppt 0.227 0.11 0.188 0.688 0.104
锌(Zn) ≤ ppt 0.188 0.037 0.112 0.137 0.377
镓(Ga) ≤ ppt 0.035 0.018 0.037 0.029 0.04
锗(Ge) ≤ ppt 0.277 0.173 0.364 0.45 0.18
砷(As) ≤ ppt 0.014 0.178 0.735 0.595 0.183
锶(Sr) ≤ ppt 0.505 0.19 0.151 0.031 0.011
锆(Zr) ≤ ppt 0.065 0.033 0.066 0.045 0.029
铌(Nb) ≤ ppt 0.003 0.006 0.016 0.056 0.068
钼(Mo) ≤ ppt 0.139 0.216 0.109 0.108 0.055
银(Ag) ≤ ppt 0.342 0.256 0.295 0.258 0.191
镉(Cd) ≤ ppt 0.071 0.047 0.075 0.027 0.036
铟(In) ≤ ppt 0.011 0.011 0.004 0.015 0.005
锡(Sn) ≤ ppt 0.16 0.247 0.58 0.232 0.178
锑(Sb) ≤ ppt 0.358 0.215 0.396 0.307 0.007
钡(Ba) ≤ ppt 0.285 0.091 0.369 0.343 0.09
钽(Ta) ≤ ppt 0 0 0 0 0.023
铂(Pt) ≤ ppt 0.157 0.96 0.272 0.483 0.107
金(Au) ≤ ppt 0.11 0.235 0.23 0.554 0.111
汞(Hg) ≤ ppt 0.159 0.207 0.158 0.16 0.222
铊(Tl) ≤ ppt 0.701 0.163 0.122 0.148 0.167
铅(Pb) ≤ ppt 0.216 0.099 0.178 0.177 0.175
铋(Bi) ≤ ppt 0.018 0.072 0.012 0.025 0.16

内衬具体应用

内衬New-PTFE（电子级氢氟酸储罐）

内衬New-PTFE（电子级氢氟酸储罐）

电子级化学品储罐（内衬PTFE）

电子级化学品储罐（内衬PTFE）

电子级三氟化氮反应槽（内衬PFA）

电子级三氟化氮反应槽（内衬PFA）

电子级盐酸成品罐（内衬N-PTFE GBK）

电子级盐酸成品罐（内衬N-PTFE GBK）

滤芯式过滤器（内衬电子级PFA）

滤芯式过滤器（内衬电子级PFA）

内衬PFA(高温电镀槽)

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氟聚合物涂层和衬里
    1. 工业级喷涂
    2. 工业级喷涂 工业级喷涂（PFA、PTFE(F4)、FEP（F46）、ECTFE(F30、HALAR)、ETFE（F40）、PVDF）。 半导体级喷涂，采用PFA高纯喷涂，ECTFE(F30、HALAR)高纯喷涂，PVDF喷涂，PFA高纯导电喷涂，纯度达0.5~1ppb。 更多
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